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SensofarCSI（白光干涉）是如何運作的?Sensofar干涉為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通過干涉技術(shù)，可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲，它可實現(xiàn)優(yōu)于0.01nm的系統(tǒng)噪聲。干涉工作原理干涉技術(shù)的工作原理是：將光分成光學傳播路徑不同的兩個光束，然后再合并，從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作；焦點對準后，可在樣本上觀察到條紋。CSI（白光干涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達到1nm的高度分辨率。采用干涉法，...

本案例研究中，Linkam和SensofarMetrology展示了在為溫控光學輪廓測量實驗生產(chǎn)實驗裝置方面的合作。由于球面像差引起的成像問題，在過去一直是一個難點工序。使用Linkam的精密冷熱臺和Sensofar的Linnik物鏡解決了這些問題，實現(xiàn)了納米材料3D形貌輪廓的精確測量。我們觀察了硅晶片在20°C到380°C溫度范圍內(nèi)的形貌變化。快速熱處理（RTP）是硅晶片制造過程中的一個重要步驟，其中晶片在短時間內(nèi)快速加熱到高溫，然后以受控方式緩慢冷卻，為晶片賦予所需的半導...

我們的研究涉及設計產(chǎn)生干涉顏色的微結(jié)構(gòu)。我們對這種光學機制的第一次報告出現(xiàn)在Goodling,A.E.,等(2019)的論文中?！巴ㄟ^微尺度凹面界面的全內(nèi)反射和干涉實現(xiàn)的顏色化?！盢ature566(7745):523-527。光在微結(jié)構(gòu)內(nèi)通過全內(nèi)反射反彈，并且在經(jīng)歷不同反射路徑的光線之間發(fā)生光學干涉。我們設計微結(jié)構(gòu)化表面來控制光的反射和產(chǎn)生的顏色。我們需要測量表面地形，以便將光學性質(zhì)與表面幾何形狀關聯(lián)起來。微結(jié)構(gòu)的幾何形狀，如它們的深度、寬度、角度和表面粗糙度都會影響光學性...

該案例研究專注于開發(fā)具有高硬度和同時具有較低摩擦系數(shù)的納米復合W-C:H涂層。我們研究了在混合PVD-PECVD工藝中由添加到濺射大氣中的烴（主要是乙炔）得到的不同氫化碳基質(zhì)含量的W-C:H涂層系統(tǒng)。涂層是使用三種不同的PVD技術(shù)（直流磁控濺射、HiPIMS、HiTUS）制備的，通過不同的烴氣添加來控制氫化碳的含量。由于此處研究的涂層的摩擦行為是由球上的轉(zhuǎn)移層形成來控制的，而我們早期的工作重點是研究硬度和摩擦系數(shù)之間的基本關系，因此重點轉(zhuǎn)向了轉(zhuǎn)移層本身的演變的研究。重要的是要...

螺旋插刀用于制造螺紋。螺旋加工過程復雜，這就是為什么插刀上有許多不同的角度（前角、后角、間隙角）（圖1a）。此外，有些插刀上還有多達3個刃齒。這使得插刀的測量變得非常困難。在先前的質(zhì)量評估中，人們不得不依賴于簡單的光學設備來評估尺寸精度，并使用探針設備測量表面粗糙度。然而，這些測量的信息價值非常有限。此外，通常需要破壞零件以便測量所需的尺寸。為了不斷提高工具的質(zhì)量，需要一種靈活的設備來測量和評估切削工具的關鍵尺寸和表面粗糙度。本案例研究的目的是使用3D光學輪廓儀測量插刀的切削...

Robocasting是用于陶瓷基材料的第一代擠出增材制造方法，可構(gòu)建包含連續(xù)層的成品零件。它具有易于加工和經(jīng)濟實惠的優(yōu)點，并且適用于多種材料。Robocasting有望用于生產(chǎn)壓電傳感器、陶瓷晶格過濾器或陶瓷晶格結(jié)構(gòu)，例如定制的骨植入物。掃瞄式電子顯微鏡(SEM)等常規(guī)方法可以用于測量燒結(jié)零件上的一些幾何信息，但是，印刷陶瓷層很難通過這些常規(guī)方法進行測量。在這項研究中，研究人員使用了一臺非接觸式3D表面測量共聚焦顯微鏡（Sneox，Sensofar，巴塞羅那）來測量單層陶瓷...

1-.ScottRS,UngarPS,BergstromTS,BrownCA,GrineFE,TeafordMF&WalkerA(2005).牙齒微磨損質(zhì)地分析顯示，人化石中人種的飲食差異。Nature436693-695.2-.EvansAA,DonahueRE(2008).激光掃描共聚焦顯微鏡：研究石器時代微磨損的潛在技術(shù)J.Archaeol.Sci.35,2223-2230.3-.GillPG,PurnellMA,CrumptonN,BrownKR,GostlingNJ...

所測樣品是指尖皮膚的復制品。在這個例子中，在測量過程中難以完*保持手指絕對靜止，因此需要使用測量復制品的間接測量方法。目的是獲得用于模擬皮膚微觀幾何形狀的信息，以便創(chuàng)建簡化的虛擬模型。模型被用于有關瞬態(tài)振動從手持式設備（例如沖擊扳手和鑿子機）經(jīng)由皮膚傳播到發(fā)生損壞的神經(jīng)的有限元分析(FEA)中。這些振動會導致稱為“白手指”的醫(yī)療狀況，也是一種常見的工作相關健康問題。在這項由政府資助的項目之前，尚沒有針對此特定目的皮膚微觀幾何形狀表征研究。圖1.皮膚概述，測量區(qū)域描繪在矩形藍色...