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SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動操作。
更新時間：2025-04-21
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ZP3-4 微納探針臺探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨(dú)立驅(qū)動（X、Y、Z三自由度）。
更新時間：2025-04-21產(chǎn)品型號：瀏覽量：718
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